關於埃爾思

Atomic Level Emission Source (ALES) 埃爾思，意指原子尺寸的場發射光源，也是本公司的核心技術【單原子針科技】。

場發射領域的世界級權威鄭天佐院士從美國將這項技術帶回台灣之後，其所創立的表面科學實驗室在中央研究院物理研究所深耕三十多年，最重要的學術成果之一就是開發出單原子針。

單原子針可用於場發射電子束或離子束，原子尺寸的電子或離子光源具有最高亮度，是世界最尖端的帶電粒子束光源科技，能夠增進半導體相關製程/檢測設備的解析度。

過去十多年中，有許多國際知名的聚焦離子束系統大廠與中研院物理所尋求合作，期望共同開發單原子離子光源的新世代聚焦離子束系統。然而，科學研究成果距離商業化的成熟機臺，仍有一大段的距離，設備廠經評估或先期合作測試後，合作計畫均未能持續進行以達成目標。有鑑於此，埃爾思科技創辦人張維哲博士，於2019年6月決定離開服務近十年的中研院物理所，成立埃爾思科技股份有限公司，並取得中央研究院關於單原子針技術的專利授權，由埃爾思科技完成單原子離子光源技術的前期商業化發展，以加速完成新世代聚焦離子束系統的開發。

埃爾思科技成立後，致力於提升離子光源的性能，發展相關專利技術，於此同時，也衍生出許多金屬針尖形貌調變技術。埃爾思利用這些衍生技術，發展出奈米探針、微米探針、掃描探針顯微鏡（STM）探針等產品。其中，應用於先進半導體製程電性量測的奈米探針量測系統（Nano Probing），需要使用奈米尺度的金屬針尖對樣品進行接觸式量測，埃爾思科技能提供業界最高規格的奈米探針。