產品介紹

單原子離子源

藉由表面皺化(Faceting)效應形成之金字塔結構,於金字塔的最尖端僅有一個原子的單原子針,可用來作為場發射電子束、離子束之發射極。單原子針氣體場離子源具有高亮度、高電流密度的優越特性,乃開發新世代聚焦離子束系統(FIB)之關鍵核心技術,能克服傳統液態金屬離子源FIB解析度的限制、並解決金屬汙染的問題。而單原子針場發射電子源具有高同調性的優點,是電子全像術、相位對比式電子顯微鏡性能提升之關鍵技術。


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奈米探針

奈米探針量測系統是目前先進半導體製程中進行電性量測的重要工具,大量應用於研發階段與故障分析,而奈米探針則是此設備的主要耗材。當製程進入10奈米以下,所需要使用的探針規格要求越來越高,埃爾思科技能提供業界最高規格之奈米探針(距離針尖100奈米的位置,探針直徑小於20奈米),能勝任3奈米製程故障分析的需求。


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微米探針

微米探針用於探針台的各種電性量測應用,如Mini LED、Micro LED的晶片點測。埃爾思科技藉由獨家製針技術,為客戶提供各種不同規格的微米探針,探針直徑、針尖曲率、針尖錐角等均可依據客戶需求進行調整,以滿足未來生產線上多樣化的點測需求。


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STM探針

埃爾思科技專為掃描穿隧顯微鏡(STM)生產便於使用的STM探針,解決一般STM實驗室經常出現的探針品質不穩定問題。除了常見的STM鎢探針之外,埃爾思科技也能提供使用特殊金屬材料所製備的STM探針,如耐用度更高的鉑銥合金(PtIr)探針,以及具備超導特性的鈮(Nb)探針等。

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埃爾思科技股份有限公司

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